HR-SPM為採用FM頻率調變檢出方式的新世代掃描型探針顯微鏡。過去的SPM(掃描型探針顯微鏡)/AFM(原子力顯微鏡)一般為AM(震幅調變)的方式,FM(頻率調變)方式原理上為最高感度測定法,可以更高分解能成像。不僅僅可以超高分解能觀察大氣中以及液體中的樣品,也可觀察在固液介面的水和、溶媒和作用。
觀察模式 | 標準:contact、dynamic(AM方式、FM方式)、水平(LFM) |
分解能 | 水平:0.2nm、垂直:0.01nm |
AFM Band | 變位檢出系:光源、光槓桿、檢測器 光源:電源二極管(On/Off可能) 檢測器:光學檢測器 |